IMS Wf & SC Ultra
SIMS untuk Aplikasi Semikonduktor Tingkat Lanjut
IMS Wf dan SC Ultra telah dirancang khusus untuk memenuhi peningkatan kebutuhan pengukuran SIMS dinamis dalam semikonduktor canggih. Menawarkan berbagai energi benturan (100 eV hingga 10 keV) tanpa kompromi pada resolusi massa dan kepadatan sinar primer, mereka memastikan kinerja analitik yang tiada bandingnya pada throughput tinggi untuk aplikasi yang paling menantang: implan ekstra dangkal & energi tinggi, nitrida ultra-tipis oksida, gerbang logam high-k, lapisan doping SiGe, struktur Si:C:P, perangkat PV & LED, graphene, dll…
Dari profil kedalaman standar hingga ultra-dangkal Persyaratan
pertama untuk analisis semikonduktor canggih adalah optimalisasi kondisi analitik SIMS untuk profil kedalaman ultra-dangkal tanpa mengabaikan aplikasi profil kedalaman standar. Oleh karena itu, CAMECA telah mengembangkan desain instrumen SIMS unik yang mampu menyemburkan sampel dengan berbagai energi tumbukan: dari energi tinggi (kisaran keV) untuk struktur tebal hingga Energi Ultra-Rendah (≤ 150eV) untuk struktur ultra-tipis. Fleksibilitas dalam pilihan energi benturan ini tersedia untuk berbagai kondisi sputtering yang terkontrol dengan baik (spesies, sudut datang, dll…).
CAMECA IMS Wf dan SC Ultra adalah satu-satunya instrumen SIMS yang menawarkan EXtreme Low Impact Energy (EXLIE) tanpa kompromi pada resolusi massa tinggi dan transmisi tinggi.
Tingkat otomatisasi tinggi
Saat teknik SIMS matang, pengguna ingin mengurangi keahlian yang diperlukan untuk mencapai reproduktifitas tinggi dan pengukuran presisi tinggi. Trennya jelas menuju analisis otomatis tanpa pengawasan. CAMECA IMS Wf dan SC Ultra menghadapi tantangan ini dengan otomatisasi komputer yang memastikan kontrol penuh atas semua parameter analitis (resep analisis, pengaturan instrumen, dll…).
Sistem airlock, tahap sampel, dan ruang analisis telah dioptimalkan untuk mengakomodasi wafer hingga 300 mm (model IMS Wf), dan untuk memuat sejumlah besar sampel dalam satu batch – hingga 100 dalam model IMS Wf yang juga menawarkan mesin sepenuhnya transfer antara airlock dan ruang analisis.
Berkat otomatisasi tingkat tinggi, IMS Wf dan SC Ultra melakukan profil kedalaman yang cepat dengan throughput sampel yang dioptimalkan dan stabilitas pengukuran yang sangat baik, memastikan produktivitas alat SIMS yang belum pernah ada sebelumnya.
Untuk informasi lebih lanjut, klik disini